但叶氏总部的灯,反而比平时更亮了。
何庭波带着团队在实验室里住了半个月,终于把7nm麒麟985的备胎芯片流片成功了,虽然良率只有35%,远低于量产要求的85%,但至少证明了一件事:不用EUV光刻机,用DUV多重曝光,也能做7nm。
“云哥,7nm跑通了!“何庭波的声音里带着哭腔,“虽然良率低,但是功能正常,安兔兔跑分超过高通骁龙855!“
“良率的问题慢慢解决。“叶流云说,“让中芯国际把14nm的产能全开,先保未来01和基站芯片的供应。7nm的良率,让建国带人去啃,三个月内提到60%,半年内提到80%。“
***已经在实验室里搭了个简易床铺,旁边堆着二十多桶泡面:“云哥,我算过了,用DUV四次曝光,虽然工序多了三倍,成本涨了40%,但是能绕开ASML的EUV限制。我们现在缺的是光刻机的对准精度,如果能从日本尼康买到ArF浸没式光刻机的高精度对准系统,良率能提15个百分点。“
“尼康那边我去谈。“叶流云说,“另外,让陈婉联系荷兰ASML,告诉他们,如果不卖给我们1900i,我们就联合所有中国厂商,以后十年不买他们的EUV。他们现在的EUV订单里,中国有37%的份额,失去这个市场,他们的股价得腰斩。“
……
十月底,上海,进博会。
尼康的社长特意飞到上海,和叶流云签了一份秘密协议:尼康每年向叶氏供应20套ArF浸没式光刻机的高精度对准系统,不通过美国商务部审批,直接从日本发货。作为交换,叶氏承诺未来五年内,不向尼康的竞争对手佳能采购同类设备。
同一天,ASML的CEO也发来了邮件:“叶先生,1900i的配件我们会通过荷兰本土的供应链发货,美国无权干涉。但EUV暂时不行,政治压力太大。希望您理解。“
“理解。“叶流云回复,“但请贵司记住,2025年之前,如果EUV还不能卖给中国,我们将自主研发。到时候,贵司失去的不只是中国的市场,是全球的市场。“
……
十二月三十一日,临港工厂。
未来01的第10万台车缓缓驶下生产线,车身上贴着一行小字:“Made in China, Made for the World.“ 叶流云坐进驾驶座,语音唤醒车机,微信弹出了黑皮妈的视频请求。
“云哥啊!俺今年卖热干面赚了三十万!给村里修了条柏油路,还捐了二十台电脑给小学!“老太太穿着件红棉袄,脸上笑出了褶子,“俺家黑皮说,明年要跟着你去美国开面摊,让老美也尝尝正宗的武汉热干面!“
黑皮在旁边挠头:“云哥,俺妈非要闹着去,说要让老外知道,咱中国人的面,比他们的汉堡强!“
“去。“叶流云笑了,“等你妈的面摊开到纽约那天,咱们的芯片也该打到全球去了。“
他走出工厂,海风卷着咸腥味吹过来。远处,中芯国际的厂房灯火通明,28nm的生产线24小时运转,国产光刻胶的货车一辆接一辆地进出。何庭波刚发来消息:7nm麒麟985的良率已经提升到58%,明年六月能量产。
手机又震了一下,是倪光南发来的短信:“小叶,ArF浸没式光刻胶昨天通过中芯国际的验证,良率97%。我们终于不用看日本人脸色了。新年快乐。“
叶流云抬头看着夜空,星星不多,但每一颗都很亮。他掏出那枚算盘珠子,在指尖转了一圈,停在“2019“的位置。
2019年,才是真正的大考。5月,华为将被彻底断供所有美国技术,谷歌GMS全面停用,台积电7nm代工面临最终裁决。但他不怕了。因为他身后站着整个产业,站着千千万万个像黑皮妈那样相信中国技术的人。
风里传来黑皮的喊声:“云哥!吃面了!俺妈特意加了牛肉!“
叶流云应了一声,把算盘珠子放回口袋,朝着灯火通明的食堂走去。
路还长,但天已经亮了。